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微波等离子清洗机是一款表面处理设备,能够处理各类污染物,主要应用在集成电路、半导体等行业;微波等离子清洗工艺是一种干式精密清洗技术,能够对微孔、狭缝等细小的空间进行处理,解决这类部位的表面处理难题。一、微波等离子清洗机原理
微波是因为电源频率,分别是直流、低频40KHz、射频13.56MHz及本文介绍的微波2.45GHz。
利用微波源振荡产生的高频交变电磁场将氧、氩、氢等工艺气体电离,生成等离子体,活性等离子体对被清洗物进行表面处理,达到表面清洁活化的目的。